1. 负责先进节点中的关键光刻工艺,重点攻克 RDL及Cu Pillar厚胶的曝光、显影工艺中常见的底部残留、侧壁及显影毛刺等缺陷,优化高深宽比垂直侧壁形貌 2. 负责光刻胶(PR)选型与评估,优化曝光剂量,将套刻精度及关键尺寸均匀性控制在工艺节点允许的极限指标内,主导评估及调试光刻机及涂胶显影机的工艺调试、验收及Release,评估并导入适用于RDL工艺的新型光刻胶(厚正胶/负胶)材料,制定内部物料技术规格书。 3. 优化光刻后关键尺寸的量测方法,提升工艺Cp/Cpk能力,配合产品部开发新工艺(lift off/临时键合等) 4. 系统分析并解决气泡及显影不净造成的图案缺陷,配合质量部进行良率闭环提升。
职位描述
企业介绍
苏州某半导体无源器件设计生产企业
职位信息
所属部门:工艺
汇报对象:总监
更新时间:2026-10-09
语言要求:语言能力不限
年龄要求:不限
行业领域:电子/芯片/半导体